成功案例｜格創(chuàng)東智AOI檢測設備助力頭部硅片廠實現生產全流程自動化質檢
項目背景
國內頭部半導體材料廠，專注于半導體硅片及其延伸產業(yè)領域的研發(fā)和制造，堅持以創(chuàng)新驅動發(fā)展，為全球客戶提供全產品解決方案。
項目挑戰(zhàn)
眾所周知，硅片是生產集成電路、分立器件、傳感器等半導體產品的關鍵材料，是半導體產業(yè)鏈基礎性的一環(huán)。但在硅片生產過程中，伴隨復雜工藝流程產生的缺陷種類多且復雜，多數工廠采用人工目檢方式進行外觀檢測，而人工目檢會隨著產能的提升和工藝能力要求的提高產生諸多弊端：
判定標準不統(tǒng)一，檢測效率低下 質檢人員流動性大，培訓周期長 無留檔記錄，無法追溯歷史數據 缺陷種類多，無法量化缺陷統(tǒng)計數據 無法實時監(jiān)控和反饋數據，缺少工藝異常鎖定功能 1）產品外觀缺陷檢測：通過機器視覺獲取產品表面特征圖像，對圖像中的缺陷進行精準定位抓取，并進行精準識別與分類； 2）數據統(tǒng)計分析：分析產品缺陷分類占比，準確定位缺陷位置信息，有效識別生產工藝改善方向；批量統(tǒng)計分析缺陷變化規(guī)律，定位缺陷產生原因及工藝，實時檢測設備及工藝性能波動情況；結合生產過程中出現的缺陷數據和趨勢信息，對改善制造工藝、優(yōu)化生產流程進行缺陷根因分析； 3）自適應缺陷識別：通過自適應成像配置調節(jié)及多種成像方式，結合無監(jiān)督遷移學習的人工智能算法，對新形態(tài)缺陷不論大小以及形態(tài)均實現自適應缺陷檢出。并配合自動化質量監(jiān)控對設備問題進行報警。 項目成果 通過自動化檢測設備替代原有人工目檢，10秒檢測一塊硅片，檢測效率大幅提升，滿足高產能生產需求；1個人可以同時維護多臺設備，大幅降低了人力投入，同時縮短了人工培訓周期。 2、缺陷檢測準確率高達99% 通過自適應高分辨率成像穩(wěn)定獲取產品圖像特征，并結合機器視覺建立統(tǒng)一的缺陷檢測規(guī)范，有效提升了產品缺陷檢測的穩(wěn)定性以及準確性。 3、出貨良率提升20% 在進行缺陷檢測的同時，進行大量數據統(tǒng)計分析，有效識別前段工藝生產問題及改善方向，進而促進生產工藝優(yōu)化，結合精準的產品等級劃分，促使產品出貨良率提升。
